Piezoresistive Drucksensorenbasieren hauptsächlich auf dem piezoresistiven Effekt. Der piezoresistive Effekt wird verwendet, um die Änderung des Widerstands eines Materials unter mechanischer Spannung zu beschreiben. Im Gegensatz zum piezoelektrischen Effekt erzeugt der piezoresistive Effekt nur eine Änderung der Impedanz, keine elektrische Ladung.
Piezoresistive Effekte wurden in den meisten metallischen und halbleitenden Materialien gefunden. Nachdem die piezoresistive Wirkung in Halbleitermaterialien viel größer ist als die in Metallen. Since Silicium ist der Hauptstütze der heutigen integrierten Schaltkreise, die Anwendung von Piezoresistiven, die aus dem Silikon aus dem aus dem Widerstand ausgestatteten Veränderungen aus dem aus dem Widerstand stehenden, aber nicht nur aus dem aus dem Widerstand veränderten Veränderungen aus dem aus dem aus dem Widerstand stehenden. Stressbedingter Widerstand des Materials selbst, der seinen Gradfaktor hundert Male größer macht als die von Metallen. Die Resistenzänderung des Siliziums vom N-Typ ist hauptsächlich auf die Umverteilung von Trägern zwischen den Leitungsbandtälern der Täler verschiedener Mobilitäten unterschiedlicher Mobilitäten zurückzuführen, die durch die Verschiebung der Verschiebung der drei Leitungsbande, in denen das Mobilität der Elektronen in den Dreisträgern drei Leitungsbänder verdrängt wird, in der Masse des Elektroriums in der Mobilität der Elektronen. Leitungsband Valley.in P-Typ-Silizium, dieses Phänomen wird komplexer und führt auch zu äquivalenter Massenänderung und Lochumwandlung.
Piezoresistive Drucksensoren sind im Allgemeinen durch Blei mit einer Weizensteinbrücke verbunden. In der Regel gibt es keinen externen Druck auf den empfindlichen Kern, und die Brücke befindet sich in einem ausgewogenen Zustand (als Null -Position bezeichnet). When the sensor is pressurized, the chip resistance changes, and the bridge will lose its balance.If a constant current or voltage power supply is added to the bridge, the bridge will output a voltage signal corresponding to the pressure, so that the resistance change of the sensor is converted into a pressure signal output through the bridge.The bridge detects the change of the resistance value, and after amplification, it is converted into the corresponding current signal through the conversion of voltage and current.The current Das Signal wird durch die nichtlineare Korrekturschleife kompensiert, dh ein Standardausgangssignal von 4-20 mA, wobei die Eingangsspannung eine lineare entsprechende Beziehung hat.
Um den Einfluss der Temperaturänderung auf den Widerstandswert des Kerns zu verringern und die Messgenauigkeit zu verbessern, führt der Drucksensor Temperaturkompensationsmaßnahmen an, um ein hohes Maß an technischen Indikatoren wie Nulldrift, Empfindlichkeit, Linearität und Stabilität aufrechtzuerhalten.
Postzeit: Apr-03-2022